MX61A

자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast

통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로 조절됩니다.

각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다. 

Active Laser Autofocus

MX61A는 검사의 정확성과 속도를 위해 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다.새로 개발된 multi-spot 센서의 도입은 표본의 수직지형의 영향을 제거하여 안정성을 크게 증가시키며 모든 관찰 방법에 대해 기대치보다 초과하며, 더 빨라지고 반복도가 상승합니다. 

Supports Routine and Advanced Observation Methods

UIS2 대물렌즈 시리즈는 deep ultraviolet, 가시광선, 근적외선 관찰에서 높은 성능의 영상을 제공합니다. MX61A는 통합된 소프트웨어 플랫폼이나 핸드셋을 통해 쉽게 선택할 수 있는 시스템에서 명시야,암시야,미분간섭,형광과 근적외선 관찰법들을 호환하여 사용할 수 있습니다.

전동 컴포넌트 통합제어

OLYMPUS 는 디지털 카메라와 전동 스테이지를 포함한 모든 전동 기능을 제어하기 위해 MX61A 현미경 프레임과 함께 통합된 여러 소프트웨어 플랫폼을 제공합니다.
각 인터페이스는 기본적인 검사 및 제어, 고급 이미지 분석 및 반복적인 사이트 검사 및 결함 검토를 위해 설계되었습니다. 

MX2-BSW - 현미경 컨트롤 소프트웨어

이 소프트웨어는 매우 유연하게 제작되어 사용자가 현미경의 전동 장비( Objective turret, 조명 기술, 조리게, 오토포커스 ) 와 세계적으로 유명한 OLYMPUS DP 디지털 카메라의 전동 기능을 컨트롤 할 수 있도록 설계되었습니다.

라이브 영상을 통해 사용자가 모니터상으로 이미지를 볼 수 있게하고 스테이지 컨트롤 화면을 통해 보고자 하는 곳으로 이동하여 볼 수 있게 합니다.

한 번의 마우스 버튼 클릭으로 몇몇의 단계가 쉽고 간편하게 진행되며 사용자에 맞게 최적으로 설정할 수 있습니다. 

인체공학적인 디자인
SEMI S2 & S8 Standards 적용
MX61A는 SEMI( Semiconductor Equipment and Materials International) S2와 S8 기준에 따라 웨이퍼에 안전하고 인체공학적이게 제작되었으며, CE도 표시되어 있습니다.

Observation Tube 조절

Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다. 

전동 Nosepieces의 향상된 검사 속도

전동 Nosepieces 초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋. 

 
Rigid Frame Design

OLYMPUS는 100배,150배 대물렌즈를 사용할 때 진동으로 인한 흐림을 최소화하고 이미지의 해상도와 contrast를 최대화 하기 위하여 견고하고 진동에 민감함 MX61A 프레임을 채택하였습니다. 

Handset for Tactile Control

인체공학적으로 설계된 핸드셋은 렌즈 선택과 관찰법을 선택하기 위해 현미경의 전동기능을 제어할 수 있는 버튼을 제공합니다. 사용자는 오토포커스 유닛의 TRACE 와 ONE SHOT을 조절할 수 있고, 수동 미세 초점, DIC의 위치 조절, 램프 강도, 샘플 교체를 위한 스테이지 낮추기 도 조절 가능합니다. 

웨이퍼 핸들러 솔루션

MX61A 프레임은 OLYMPUS 의 AL120 웨이퍼 핸들러와 원활하게 호환됩니다. 인체 공학적 디자인을 유지하면서 OLYMPUS 웨이퍼 로더 시리즈는 카세트에서 현미경 스테이지에 여러 크기의 실리콘 및 화합물 반도체 웨이퍼를 모두 전송할 수 있습니다. S2와 S8 표준을 모두 준수한 AL120는 특정 카세트 타입, 웨이퍼 규격과 전송 속도 등 10개의 시스템 설정을 구성하여 프로그래밍할 수 있습니다. 빠른 푸시 버튼은 사용자가 즉시 다른 제품을 로드할 수 있도록 합니다. 비 접촉 광학 센터링, 노치 / 플랫 검색과 정렬은 웨이퍼 접촉을 줄이고 청결도을 증가시켜 줍니다.
세계적으로 유명한 성능과 안정성을 갖춘 OLYMPUS 웨이퍼 핸들러 AL120은 90μm 두께의 웨이퍼까지 전송할수 있어 얇은 웨이퍼 제조업체의 요구를 충족할 수 있습니다.
 
고성능 전동 스테이지

높은 정확도의 전동 스테이지를 MX61A 현미경과 함께 사용할 수 있습니다. 조이스틱과 소프트웨어로 조종이 가능한 전동 스테이지는 검사의 반복도를 높이고 인체공학적이라 검사할 수 있는 작업시간을 연장시켜줍니다