AL-120

다양한 크기의 웨이퍼 대응
다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 능력은 fab의 확장을 위해 중요한 사항입니다.

 AL120 시리즈는 웨이퍼 직경에 따라 200mm (AL120 - L8), 150mm 와 200mm (AL120 - L86) 및 150mm 이하 (AL120 - L6)의 웨이퍼 크기 150mm 모델로 3가지로 구성되어 있습니다.

각 시스템은 웨이퍼 전송 및 현미경 검사를 위해 설계되었으며,

Top면과 Back면 매크로 검사는 모든 웨이퍼 크기에 사용할 수 있습니다.

얇은 웨이퍼 검사
얇은 웨이퍼를 생산하는 업체의 요구에 맞도록, 새롭게 설계된 암(arm)을 갖춘 AL120-LMB-90 모델은 90µm 풀 카세트 웨이퍼를 다룰 수 있습니다.

소프트웨어 제어를 위한 시리얼 인터페이스
검사 파라미터와 AL120의 레시피는 옵션 RS232C 시리얼 인터페이스를 통해 제어할 수 있습니다.

장비 제조업체와 Fab에서는 내부 검사용 소프트웨어와 AL120 웨이퍼 핸들러로 자동화 및 효율성을 강화시킬 수 있습니다. 시리얼 인터페이스는 동적 링크 라이브러리(DLL)을 사용하여 특정 소프트웨어와의 통합을 간단하게 만들어 줍니다.

 강화된 매크로 검사

매크로 검사는 웨이퍼의 완벽한 매크로 검사를 위해 top면과 back면에 결함과 파티클을 쉽게 찾아낼 수 있도록 자동으로 360도를 회전할 수 있는 기능을 갖고 있는 것이 특징입니다.
포함된 조이스틱으로 top면의 매크로 검사동안 기울기를 조종할 수 있으며,

사용자는 검사결과에 최적으로 알맞은 웨이퍼의 각도를 조절할 수 있습니다.
 
손쉬운 사용법
-다양한 검사 방법의 요구를 충족시키기 위해 AL120는 10개의 프로그램 가능한 시스템을 갖고 있어 특정 카세트 타입, 웨이퍼 규격과 전송속도등을 설정할 수 있습니다. 빠른 선택버튼은 사용자가 즉시 다른 제품을 로드 할 수 있게 합니다.
-웨이퍼 핸들러의 파라미터와 레시피 설정값들은 LCD 디스플레이에 표시됩니다. 사용자는 검사 전과 후의 검사결과값들을 바로 확인 할 수 있습니다.
-AL120은 웨이퍼의 청결도 향상을 위해 비접촉식의 광학 센터링과 notch/flat 탐지 및 웨이퍼와 장비사이에 접촉을 최소화 시켜줍니다.
 

웨이퍼와 사용자의 안전성
AL120 디자인은 웨이퍼 안전성을 극대화하고 고급 안전 기능을 갖고 있습니다.
3센서 시스템은 전송절차간 안전하고 적절한 검색,전송,로딩, 언로딩을 통하여 지속적으로 웨이퍼의 위치를 모니터링 합니다. 이 특징은 한개의 슬롯에 하나 이상의 웨이퍼가 로드되어 사고가 발생하는 피해를 방지합니다.
인체공학적이며 안전하고 환경을 고려한 디자인 AL120은 SEMI S2와 S8 기준과 RoHS 를 준수합니다.

강력하고 신뢰성 있는 현미경 플랫폼
AL120은 명시야, 암시야, 미분 간섭, 근적외선과 DUV(Deep Ultraviolet)의 관찰 방법을 통해 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 웨이퍼 검사 전용 현미경 OLYMPUS MX 시리즈와 호환되서 사용가능합니다. 전동 대물렌즈 터렛와 조리개조절은 각 렌즈에 맞는 최적의 조명과 contrast를 조절하여 줍니다. 또한 AL120은 특별 주문에 따라 다른 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다.

AL120-12

동작하기 쉽고 인체공학적인 디자인

- 사용자의 의도에 따라 post-process 검사를 할 수 있으며, 특히 인체공학적이고 사용하기 쉽도록 설계하였습니다. AL120 - 12 시스템은 top 매크로와 back 매크로 및 현미경 검사를 할 수 있습니다.
- 로봇 진공 pick-up arm 은 현미경 스테이지에서 정확한 배치를 위해 비접촉하여 웨이퍼의 센터링 작업을 수행합니다. 웨이퍼는 현미경 검사를하는 동안 360도 회전할 수 있습니다.
- AL120-12는 우수한 해상도와 정밀도를 갖는 고품질의 광학 영상을 제공하는 OLYMPUS MX61L현미경과 호환됩니다.
- 중앙에 위치한 컨트롤러와 보드위의 매크로 조명장치는 사용자가 오랜 시간 검사하는 동안에도 인체공학적이고 편안한 자세를 유지할 수 있게 합니다.

강력하고 신뢰성 있는 안전 처리
•OLYMPUS AL120-12에서도 웨이퍼 처리에서 입증된 전문성을 갖추고 있습니다.

그 강력하고 신뢰할 수있는 설계는 웨이퍼 무결성을 유지하고 300mm 웨이퍼에 대한 안전 처리를 보장합니다.
얇고 뒤틀리는 웨이퍼도 안전하게 AL120 - 12 핸들러를 사용하여 전송할 수 있습니다

전용 매크로 조명기

추가적인 메탈 할라이드 램프와 광섬유는 이물질이나 스크래치, 필름결함 등에 매크로 검사 절차 간에 무열광원과 함께 검사할 수 있도록 합니다. 

인체공학적 스테이지 옵션
Quick release 수동 vacuum 스테이지는 사용자의 편안함과 효율성에 최적화 되었습니다.

 X - Y 제어 및 웨이퍼 회전은 표준에 따릅니다.
검사 과정을 자동화하거나, 전동 스테이지는 조이스틱이나 프로그램을 통해 제어할 수 있습니다.

하나의 푸시 버튼으로 LOAD / UNLOAD 위치와 홈 위치에서 스테이지를 조종할 수 있습니다.

 (전동 스테이지는 일부 지역에서 사용할 수 없습니다.)