양면 관찰 현미경

웨이퍼의 위/아래 패턴을 비교/분석

DCM-40

제품 개요

DCM-40은 웨이퍼의 위쪽과 아래쪽의 패턴이 서로 동일한지를 관찰하기 위해 특별히 디자인된 현미경 이다. DCM-40은 위와 아래의 패턴을 비교하기 위해 디스플레이장치에 두 개의 패턴을 일체로 정렬하는 것이 가능하다. 위와 아래의 패턴에 차이점을 쉽게 검출하고, Linear gauge와 counter로 차이 값을 측정할 수 있다.

DCM40의 다양한 (5x, 10x, 20x, 40x) 대물렌즈는 여러 소재의 분야에 적용이 가능하다.
DCM40은 4인치 웨이퍼 관찰에 사용된다.

위쪽 아래쪽 대물렌즈의 빔으로 쉽게 정렬
DCM-40은 다양한 형태의 스테이지가 있다.
상단 또는 하단 만을 관찰 할 수 있다.
스탠다드는 c-mount 이다. 모니터 관찰과 사진 촬영이 가능하다. (카메라 아답터는 옵션이다.)