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    올림푸스 광학현미경 (Olympus Upright Microscope)

    BX51   /   BX51M

      ( 반사 투과 동시 조명 가능  /  반사 조명 가능 )

     

    Arm일체형 투광관의 채택으로 시스템구축 및 장치조합의 자유도가 더욱더 향상되었습니다. 
    BX-URA2(Universal반사투광관)과의 조합에 의한 형광관찰도 가능합니다.
    현미경 본체와 반사투광관은 그대로 근적외선 대응의 Unit을 조합하는 것 만으로,

    반사투과의 근자외선관찰이 가능합니다.
    실리콘 웨이퍼 내부와 패키지 후면내부, CSP bump등의 관찰을 가능하게 하는 근적외선현미경으로서 사용이 가능합니다.
    BXFM system과 조합하는 것이 가능합니다.
    근적외선관찰에 대응 가능합니다.

     

    가시영역에서 근적외 영역까지의 수차보정된 5X ~ 100X의 IR대물렌즈를 갖추고 있습니다.
    근적외관찰을 용이하게 하는 경통을 장치에 통합시겼습니다.
    반사투과본체와의 조합으로 투과 근적외선 관찰에도 대응가능합니다.

     

     

    명시야에서 형광까지의 모든 관찰법에 대응하는 Universal 대물렌즈
    명시야, 암시야 , 미분간섭, 간이편광, 형광관찰에 적용할 수 있는 Universal 대물렌즈 MPLN/MPLNFL-BDP를 준비하였습니다. 모든 관찰법에 있어서 최상의 상을 구현하였습니다. 

     


     Sample을 최고의 상으로 보여주는 미분간섭 System.
    전자장비 검사에 빠질 수 없는 미분간섭 관찰. Sample의 상태에 맞추어 언제라도 최적의 해상도와 Contrast를 얻을수 있도록 되어있습니다. 모든 것에 사용 할 수 있는 U-DICR, 고해상도를 추구하는 U-DICRH, High Contrast를 추구한 U-DICRH 등 3종류의 DIC 프리즘이 준비되어 있고, 모두 Slider방식의 Single prism이므로 연속한 배율에서의 관찰시, 관찰이 용이하고 다른 관찰방법으로 변환이 부드럽습니다.

     
     고배율대응 AS에 의해 저배에서 고배까지 연속적으로 조리개 사용 가능
    높은 AS 조리개의 성능을 갖는 명시야 반사 투광관 BX-RLA2를 사용하면, 초고배율관찰에서 불가결하던 종래의 Pin Hole 삽입조작이 없이도 연속적으로 조리개 조정이 가능하여, 초점심도가 깊은 High Contrast 의 관찰상을 얻을 수 있습니다. 또 초고배율에서 작동 거리가 긴 Apocromat 대물렌즈 150x를 준비하여 렌즈 선단이 Sample과 접촉하는 염려를 줄였습니다.

     


     이전보다 2배의 밝기를 실현한 암시야 관찰
    명시야 관찰시에 사용하던 DND filter를 폐지하고 더욱더 집광성능을 향상시킴으로, 명시야와의 밝기 밸런스를 유지한 채로 이전보다 약 2배 밝은 암시야 관찰상을 얻을 수 있습니다. 높은 암시야 효과에 의하여 놓치기 쉬운 흠과 먼지도 선명하게 파악할 수 있습니다.

     

     


     초미세검사에 최적인 Plan Apocormat 대물렌즈
    색수차를 철저히 제거한 고해상 대물렌즈 MplanApo/MplanApo-BD를 준비하였습니다. 색의 배어남이 없고 High Contrast인 관찰법을 통해 미세한 선폭도 선명하게 관찰이 가능합니다.

     

     


     Glass 너머의 관찰을 가능하게 하는 Glass 보정 대물렌즈
    LCD기판등 Glass를 통하여 관찰이 가능한 대물 렌즈로 LCPLFLN-LCD20×,50×은 0.7/1.2㎜ 두께의 Glass 보정 Cap방식, LCPLFLN-LCD100×는 0.5/0.7㎜두께의 Glass 보정 Cap 방식입니다.

     

     
     요철이 큰 Sample관찰에 최적인 Super Working distance렌즈
    20 ×에서25㎜ 、50 ×에서18㎜의 큰 작동거리를 구현한 초장(超長) 작동거리 대물렌즈 SLMPLN을 준비하였습니다. JIG상에 설치된 자기헤드의 관찰 등에 위력을 발휘합니다. 

     

     


     

     


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